GBT 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准

真空技术质谱检漏仪校准
Vacuumtechnology-Mass-spectrometer-typeleakdetectorcalibration

摘要:本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏元件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10Pa·m·s漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。

标准编号：GB/T18193-2000
标准类型：CP
发布单位：CN-GB
发布日期：2000年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2001年1月1日
关键词：真空技术,真空,检漏仪,真空设备,真空装置,仪器,leakdetectors,vacuumtechniques,vacuumapparatus,vacuumtechnology,instruments,instrument,vacuumdevices

GB/T 18193-2000 真空技术 质谱检漏仪校准.pdf

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