真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量
Vacuumtechnology.Sputter-ionpumps.Measurementofperformancecharacteristics
摘要:本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10Pa到1×10Pa。
标准编号：GB/T25755-2010
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2010年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2011年1月1日
关键词：真空技术,真空设备,泵,离子泵,性能,标准化参数,测量,VACUUMTECHNOLOGY,VACUUMTECHNIQUES,VACUUMAPPARATUS,PUMPS,IONPUMPS,EMPERFORMANCE,PERFORMANCE,PREMISES,PERFORMANCES,PROPERTIES,STANDARDIZEDPARAMETERS,MEASUREMENTS,MEASUREMENT,MEASURING
GB/T 25755-2010 真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量.pdf
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