光栅线位移测量系统
Gratinglineardisplacementmeasuringsystem
摘要:本标准规定了光栅线位移测量系统的基本参数、技术要求和试验方法。本标准适用于分辨率为0.1～10μm的测量系统。
标准编号：JB/T10030-1999
标准类型：
发布单位：CN-JB
发布日期：1999年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2000年1月1日
关键词：光栅,位移测量系统
JB/T 10030-1999 光栅线位移测量系统.pdf
- 文件大小:
- 240.94 KB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
