[JB机械] JBT 10553-2006 真空技术.扩散硅压阻真空计

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admin 发表于 2024-9-24 14:22 | 查看全部阅读模式

真空技术.扩散硅压阻真空计
Vacuumtechnology.Plezoresistivesiliconchipvacuumgauge

摘要:本标准规定了扩散硅压阻真空计（简称真空计）的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。本标准适用于测量压力为（100～1×10）Pa的扩散硅压阻真空计。

标准编号：JB/T10553-2006
标准类型：
发布单位：CN-JB
发布日期：2006年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2006年1月1日
关键词：真空技术,真空计,扩散硅压阻

JB/T 10553-2006 真空技术.扩散硅压阻真空计.pdf

2024-9-24 14:22 上传

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真空计, 扩散, 真空技术

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