GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

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admin 发表于 2024-9-23 07:19 | 查看全部阅读模式

半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
Theactivationanalysismethodforthedeterminationofelementalimpuritiesinsemiconductorsiliconmaterials

摘要:本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。

标准编号：GB4298-1984
标准类型：GB
发布单位：国家标准局
发布日期：1984年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1985年1月1日
关键词：金属,含量测定,材料,杂质,非金属夹杂物,辐射测量法,硅,半导体,Non-metallicinclusions,Semiconductors,Radiometry,Silicon,Materials,Metals,Determinationofcontent,Impurities

GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法.pdf

2024-9-23 07:19 上传

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半导体, 活化, 杂质, 元素, 材料

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