GBT 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法

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admin 发表于 2024-9-23 01:24 | 查看全部阅读模式

硅多晶气氛区熔磷检验方法
Polycrystallinesilicon-Examinationmethod-Zone-meltingonphosphoruscontrolledatmosphere

摘要:本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。

标准编号：GB/T4059-1983
标准类型：GB
发布单位：国家标准局
发布日期：1983年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1984年1月1日
关键词：硅,检验,晶体缺陷,晶体系统,气氛区熔法

GB/T 4059-1983 硅多晶气氛区熔磷检验方法.pdf

2024-9-23 01:24 上传

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多晶, 气氛

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