GBT 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法

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硅片直径测量方法光学投影法
Siliconslicesandwafers--Measuringofdiameter--Opticalprojectingmethod

摘要:

标准编号：GB/T14140.1-1993
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：1993年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1993年1月1日
关键词：直径测量,直径,硅,光学投影,diametermeasurement,silicone,diameter,opticalprojectingmethod,silicon,diameters

GB/T 14140.1-1993 硅片直径测量方法光学投影法.pdf

2024-9-22 23:54 上传

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光学, 硅片, 直径, 投影, 测量方法

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