GBT 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定

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硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定
Testmethodforsheetresistanceofsiliconepitaxial,diffusedandion-implantedlayersusingacollinearfour-probearray

摘要:

标准编号：GB/T14141-1993
标准类型：CF
发布单位：CN-GB
发布日期：1993年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1993年1月1日
关键词：硅,扩散,电阻测量,离子,外延层

GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.pdf

2024-9-22 23:54 上传

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薄层, 外延, 电阻, 测定, 扩散

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