银靶
Silvertarget
摘要:本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材(以下简称银靶)。其他用途的靶材也可参照使用。
标准编号：GB/T26307-2010
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2011年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2011年1月1日
关键词：金属,贵金属,银,METALS,METAL,NOBLEMETALS,PRECIOUSMETALS,SILVER
GB/T 26307-2010 银靶.pdf
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