硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法
Trichlorosilaneforsiliconepitaxy.Determinationofboron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,arsenic,molybdenumandantimonycontent.Inductivelycoupledplasmamassspectrometricmethod
摘要:使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用三氯氢硅（SiHCl）中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅（SiHCl）中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。各元素测定范围见表1.表1（略）
标准编号：GB/T29056-2012
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2013年1月1日
关键词：硅,三氯氢硅,化学分析和试验,含量测定,硼,铝,磷,钒,铬,锰,铁,钴,镍,铜,钼,砷,锑,SILICON,SILICONE,CHEMICALANALYSISANDTESTING,CONTENTDETERMINATION,CONTENTDETERMINATIONS,DETERMINATIONOFCONTENT,BORON,ALUMINUM,ALUMINIUM,PHOSPHORUS,VANADIUM
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf
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