[冶金] GBT 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

101 0

admin 发表于 2024-9-22 21:58 | 查看全部阅读模式

硅外延用三氯氢硅
Trichlorosilaneforsiliconepitaxial

摘要:本标准规定了硅外延用三氯氢硅(SiHCl)的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书以及订货单(或合同)内容。本标准适用于以粗三氯氢硅为原料经过提纯而制得的硅外延用三氯氢硅(以下简称产品)。

标准编号：GB/T30652-2014
标准类型：
发布单位：CN-GB
发布日期：2014年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2015年1月1日
关键词：

GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅.pdf

2024-9-22 21:58 上传

GBT 30652-2014 硅外延用三氯氢硅.pdf

文件大小:: 294.42 KB

下载次数:: 60

高速下载

外延

【温馨提示】您好！以下是下载说明，请您仔细阅读：
1、推荐使用360安全浏览器访问本站，选择您所需的PDF文档，点击页面下方“本地下载”按钮。
2、耐心等待两秒钟，系统将自动开始下载，本站文件均为高速下载。
3、下载完成后，请查看您浏览器的下载文件夹，找到对应的PDF文件。
4、使用PDF阅读器打开文档，开始阅读学习。
5、使用过程中遇到问题，请联系QQ客服。

本站提供的所有PDF文档、软件、资料等均为网友上传或网络收集，仅供学习和研究使用，不得用于任何商业用途。
本站尊重知识产权，若本站内容侵犯了您的权益，请及时通知我们，我们将尽快予以删除。

[冶金] GBT 30652-2014 硅外延用三氯氢硅

相关帖子

能源电力

化工

建筑工程

机械

电子信息

医药

科学