[冶金] GBT 35310-2017 200mm硅外延片

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admin 发表于 2024-9-22 21:47 | 查看全部阅读模式

200mm硅外延片
200mmsiliconepitaxialwafer

摘要:本标准规定了直径200mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。

标准编号：GB/T35310-2017
标准类型：GB
发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
发布日期：2017年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2018年1月1日
关键词：

GB/T 35310-2017 200mm硅外延片.pdf

2024-9-22 21:47 上传

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