[冶金] GBT 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

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admin 发表于 2024-9-22 21:38 | 查看全部阅读模式

半导体单晶晶体质量的测试X射线衍射法
Testmethodforcrystallinequalityofsemiconductivesinglecrystal—X-raydiffractionmethod

摘要:本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽，进而评价半导体单晶晶体质量的方法。本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化嫁等单晶材料晶体质量的测试，硅、砷化嫁、磷化铟等半导体材料品体质量的测试也可参照本文件执行。

标准编号：GB/T42676-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法.pdf

2024-9-22 21:38 上传

GBT 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法.pdf

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半导体, 衍射, 射线, 晶体, 质量

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