[冶金] GBT 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法

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admin 发表于 2024-9-22 21:38 | 查看全部阅读模式

碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法
Testmethodforsurfacedefectsonsiliconcarbideepitaxialwafers—Laserscatteringmethod

摘要:

标准编号：GB/T42902-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法.pdf

2024-9-22 21:38 上传

GBT 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法.pdf

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碳化硅, 散射, 外延, 缺陷, 激光

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