[冶金] GBT 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法

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admin 发表于 2024-9-22 21:38 | 查看全部阅读模式

碳化硅外延层厚度的测试红外反射法
Testmethodforthicknessofsiliconcarbideepitaxiallayer—Infraredreflectancemethod

摘要:本文件描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。本文件适用于n型掺杂浓度大于1×1018cm-3的碳化硅衬底上同质参杂浓度小于1×1016cm-3的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为3um~200um。

标准编号：GB/T42905-2023
标准类型：GB
发布单位：国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
发布日期：2023年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2024年1月1日
关键词：

GB/T 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法.pdf

2024-9-22 21:38 上传

GBT 42905-2023 碳化硅外延层厚度的测试红外反射法.pdf

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碳化硅, 外延, 厚度, 反射, 测试

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