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SJ 3244.5-1989 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法

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admin 发表于 2024-9-22 21:18 | 查看全部 阅读模式
砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法
MethodsofmeasurementforcompensationdegreeofGalliumarsenideandIndiumphosphidematerias

摘要:本标准适用于n型、P型砷化镓和磷化铟单晶及高阻衬底外延层,载流子浓度在1×lO^(12)~5×10^(15)cm^(-3)范围的半导体材料的补偿度的测试分析。原则上也适用于其他Ⅲ-V族化合物材料补偿度的测试分析。

标准编号:SJ3244.5-1989
标准类型:
发布单位:CN-SJ
发布日期:1989年1月1日
强制性标准:是
实施日期:1989年1月1日
关键词:砷化镓,磷化铟,材料,补偿度,测试方法

SJ 3244.5-1989 砷化镓和磷化铟材料补偿度的测试方法.pdf
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