SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

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admin 发表于 2024-9-22 21:18 | 查看全部阅读模式

重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
MethodsformeasuringcarrierconcentrationofreaddedGalliumarsenideandIndiumphosphidebyinfra-redreflection

摘要:本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理，仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度，也适用于测量外延层的载流子浓度。

标准编号：SJ3248-1989
标准类型：
发布单位：CN-SJ
发布日期：1989年1月1日
强制性标准：是
实施日期：1989年1月1日
关键词：重掺,砷化镓,磷化铟,载流子浓度,红外反射,测试方法

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2024-9-22 21:18 上传

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载流子, 磷化, 浓度, 反射, 测试

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