外延钉缺陷的检验方法
摘要:本标准现定了外延钉缺陷的检验方法。本标准适用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小4μm的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
标准编号：YS/T24-1992
标准类型：
发布单位：CN-YS
发布日期：1992年1月1日
强制性标准：否
实施日期：1993年1月1日
关键词：外延钉,缺陷,检验
YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法.pdf
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