铂靶
Platinumtarget
摘要:本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶)，其他用途的铂靶材也可参照使用。
标准编号：YS/T791-2012
标准类型：
发布单位：CN-YS
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2013年1月1日
关键词：冶金,贵金属,合金,有色金属,铂靶,有色金属合金
YS/T 791-2012 铂靶.pdf
- 文件大小:
- 80.59 KB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
