YST 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
StandardpracticeforultrasonicC-scanbondevaluationofsputteringtarget-backingplateassemblies

摘要:本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等，该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。

标准编号：YS/T837-2012
标准类型：
发布单位：CN-YS
发布日期：2012年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2013年1月1日
关键词：溅射靶材-背板,结合质量,超声波,无损检测,超声检验,冶金

YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法.pdf

2024-9-22 19:58 上传 YST 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法.pdf

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