[YS有色金属] YST 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材

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admin 发表于 2024-9-22 19:55 | 查看全部阅读模式

集成电路器件用镍钒合金靶材
Sputteringnickelvanadiumalloytargetusedinintegratedcircuitdevice

摘要:本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。

标准编号：YS/T936-2013
标准类型：
发布单位：CN-YS
发布日期：2013年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2014年1月1日
关键词：集成电路,镍钒合金,靶材,有色金属,重金属,冶金

YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材.pdf

2024-9-22 19:55 上传

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集成电路, 合金, 器件

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