无损检测在溅射靶材制造中的应用作为关键原材料之一，电子信息产业对溅射靶材质量要求非常严格。无损检测对于确保溅射靶材质量具有重要意义。溅射靶材生产过程中应用的无损检测技术主要是X射线技术和超声波技术。无损检测工序的安排需要合理并兼顾生产效率。检测项目主要是原材料与靶材板坯内部缺陷检验和焊接质量检验。应用的超声检测技术主要是超声纵波脉冲反射C扫描技术，而且靶材制造的检验验收标准极为严格。
标题：无损检测在溅射靶材制造中的应用
作者：刘红宾,刘伟,陈明,尚再艳,高岩,何金江,王欣平,吕保国,江轩,
关键词：电子信息,溅射靶材,无损检测,超声波检验,
发表日期：2012年7月
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