衍射方法监控键合线断裂
在制造行业中，键合线广泛用于连接半导体芯片焊点和封装接线端。随着工厂自动化程度的不断提高，急需配置智能传感器来监控键合线的断丝故障，可是芯片和键合线的发展趋势是越来越精细，这给当前的键合线监控方法带来了严峻的挑战。提出了基于单缝衍射的精细键合线监控方法，通过观测特定衍射条纹的光强变化来判断键合线的存在与否。试验结果表明，对于直径为25 μm或更精细的键合线，此方法可以达到理想的监控效果。
标题：衍射方法监控键合线断裂
作者：肖勇,逄玉俊,葛晓宇,高淑芝,
关键词：键合线,衍射条纹,光强,光电阵列,
发表日期：2011年12月
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