JCT 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件

半导体用透明石英玻璃器件
Transparentquartzglassdevicesforsemiconductor

摘要:本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。

标准编号：JC/T181-2011
标准类型：
发布单位：CN-JC
发布日期：2011年1月1日
强制性标准：否
实施日期：2012年1月1日
关键词：半导体,透明石英,石英玻璃,玻璃器件

JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件.pdf

2024-9-22 18:24 上传 JCT 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件.pdf

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