文档名：MEMS微热板研究进展
摘要：随着微纳加工技术的不断进步,传感器逐渐向微型化、低功耗、低成本发展.采用微机电系统(MEMS)工艺制备的微热板作为加热和支撑平台,为敏感材料提供稳定的加热温度.因此,微热板的热性能和机械性能是研制过程中重点关注的问题.本文从微热板的基本原理出发,讨论了微热板结构设计和电极几何形状的技术发展,并对微热板国内外研究现状和关键性能参数进行了总结评价.
作者：沈伟强 杨俊超 马薇 张根伟 杨杰 曹树亚 Author：SHENWeiqiang YANGJunchao MAWei ZHANGGenwei YANGJie CAOShuya
作者单位：国民核生化灾害防护国家重点实验室,北京102205苏州力牧微电子有限公司,江苏苏州215000
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(7)
分类号：TP212
关键词：气体传感器 微机电系统 微热板 加热电极
Keywords：gassensor MEMS micro-hotplate heatingelectrode
机标分类号：TP311.52TP212TG146.23
在线出版日期：2023年7月28日
基金项目：国家重点研发计划MEMS微热板研究进展[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(7)沈伟强 杨俊超 马薇 张根伟 杨杰 曹树亚随着微纳加工技术的不断进步,传感器逐渐向微型化、低功耗、低成本发展.采用微机电系统(MEMS)工艺制备的微热板作为加热和支撑平台,为敏感材料提供稳定的加热温度.因此,微热板的热性能和机械性能是研制过程中重点关注的问...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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