文档名：NbN基陶瓷硬质薄膜研究现状与进展
摘要：主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状,详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能,并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的性能影响和多层膜的超硬效应机理.指出复合、多层陶瓷薄膜具有单一NbN薄膜无法实现的优点,复合、多层陶瓷膜将依然是未来NbN基陶瓷硬质薄膜的研究方向,最后对NbN基陶瓷硬质薄膜的发展和应用前景进行了展望.
作者：陆昆 赵立军 Author：LuKun ZhaoLijun
作者单位：滁州城市职业学院医学院,安徽滁州239000江苏科技大学材料科学与工程学院,江苏镇江210003
刊名：电镀与精饰 ISTICPKU
Journal：Plating&Finishing
年，卷(期)：2023, 45(9)
分类号：TG174.
关键词：NbN薄膜 微结构 力学性能 摩擦磨损性能 超硬效应
Keywords：NbNthinfilm microstructure mechanicalproperties frictionandwearperformance su-perhardeffect
机标分类号：X783TS261.4R739
在线出版日期：2023年9月26日
基金项目：安徽省自然科学重点项目，安徽省高校优秀青年骨干教师国内访学研修项目NbN基陶瓷硬质薄膜研究现状与进展[
期刊论文] 电镀与精饰--2023, 45(9)陆昆 赵立军主要综述了NbN单层膜、NbN基复合薄膜及多层薄膜的研究现状,详细叙述了NbN单层薄膜、NbN基复合薄膜和多层薄膜的微结构、力学性能、抗氧化性能、耐腐蚀性能和摩擦磨损性能,并重点阐述了NbN多晶结构、元素掺杂对NbN基复合薄膜的...参考文献和引证文献
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