文档名：SAW压力传感器声传播方向特性研究
摘要：针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上分别沿a方向(〈11-20〉)和m方向(〈1-100〉)传播时的器件性能,包括AlN和IDT的厚度对声速和机电耦合系数的影响,以及不同方向传播时SAW压力传感器灵敏度的变化.实验结果表明:表面波沿a方向传播的传感器相比于m方向明显具有更高的声速与机电耦合系数,2个方向的传感器灵敏度分别为435.37×10-6/MPa和426.29×10-6/MPa,a方向灵敏度略大于m方向.此研究工作为之后的传感器设计制造提供了一定的参考价值.
作者：李旺旺 薛卫彪 屈珉敏Author：LIWangwang XUEWeibiao QUMinmin
作者单位：太原师范学院物理系,山西晋中030600
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(11)
分类号：TP212TN384
关键词：声表面波压力传感器 有限元法 声传播方向 声速 机电耦合系数 压力灵敏度
Keywords：surfaceacousticwave(SAW)pressuresensor finiteelementmethod(FEM) soundpropagationdirection speedofsound electromechanicalcouplingcoefficient pressuresensitivity
机标分类号：O422P733.21TP391.41
在线出版日期：2023年12月4日
基金项目：山西省基础研究计划青年项目，山西省高等学校科技创新项目SAW压力传感器声传播方向特性研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(11)李旺旺 薛卫彪 屈珉敏针对高温恶劣环境下对压力参数的测量需求,结合目前氮化铝(AlN)和蓝宝石(sapphire)等耐高温材料,构建了一种叉指换能器(IDT)/AlN/Sapphire结构的声表面波(SAW)传感器模型,并采用有限元法(FEM)分析SAW在c轴取向AlN薄膜上...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
本文读者也读过
相似文献
相关博文
SAW压力传感器声传播方向特性研究 Research on acoustic propagation direction characteristics of SAW pressure sensor
SAW压力传感器声传播方向特性研究.pdf
- 文件大小:
- 1.2 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
