文档名：Ag复合金属网格透明电极性能优化研究
摘要：[目的]Ag网格透明电极方块电阻低,但反射率高.[方法]在钠钙玻璃基底表面利用等离子射频磁控溅射沉积Cu/Ag复合金属薄膜,然后采用飞秒脉冲激光定域去除金属层,获得Cu/Ag复合金属网格透明电极.分析了激光能量密度、激光扫描速率和激光扫描线重叠率对电极材料去除的影响机制.[结果]在激光能量密度1.4J/cm2、激光扫描速率300mm/s和激光扫描线重叠率70%的工艺参数下获得了综合光电性能最为出色的Cu/Ag复合金属网格透明电极,其平均透光率为87.58%,方块电阻为2.15Ω,品质因子为1.235×10-1Ω-1.[结论]该电极的综合性能与传统商用ITO(掺锡氧化铟)透明电极相比有巨大提升.
Abstract：[Introduction]ThetransparentAgmeshelectrodehaslowsheetresistancebuthighreflectivity.[Method]ACu/Agcompositemetalfilmwasdepositedonthesurfaceofsoda-limeglassbyplasmaradiofrequency(RF)magnetronsputtering,andthenlocallyremovedbyfemtosecondpulsedlaser,formingatransparentCu/Agcompositemetalmeshelectrode.Theeffectsoflaserfluence,laserscanningspeed,andlaserscanninglineoverlapratioontheremovalofelectrodematerialwerediscussed.[Result]ThetransparentCu/Agcompositemetalmeshelectrodefabricatedatlaserfluence1.4J/cm2,laserscanningspeed300mm/s,andlaserscanninglineoverlapratio70%exhibitedanaverageopticaltransmittanceof87.58%,asheetresistanceof2.15Ω,andafigureofmeritof1.235×10-1Ω-1,showingthebestphotoelectricproperties.[Conclusion]ThecomprehensiveperformanceofthetransparentCu/AgcompositemetalmeshelectrodeismuchbetterthanthatofthecommercialITO(indiumtinoxide)transparentelectrode.
作者：王轶伦 李双双 李保家 Author：WANGYilun LIShuangshuang LIBaojia
作者单位：常州大学机械与轨道交通学院,江苏常州213164;江苏大学机械工程学院,江苏镇江212013;新誉集团有限公司,江苏常州213166江苏大学机械工程学院,江苏镇江212013;常州工程职业技术学院智能制造学院,江苏常州213164江苏大学材料科学与工程学院,江苏镇江212013
刊名：电镀与涂饰
Journal：Electroplating&Finishing
年，卷(期)：2024, 43(2)
分类号：TB43
关键词：金属网格 超快激光 定域去除 透明电极 光电性能
Keywords：metalmesh ultrafastlaser localizationremoval transparentelectrode photoelectricproperty
机标分类号：TN249TP311.13O437
在线出版日期：2024年3月22日
基金项目：常州大学科研启动经费项目基于超快激光定域去除的Cu/Ag复合金属网格透明电极性能优化研究[
期刊论文] 电镀与涂饰--2024, 43(2)王轶伦 李双双 李保家[目的]Ag网格透明电极方块电阻低,但反射率高.[方法]在钠钙玻璃基底表面利用等离子射频磁控溅射沉积Cu/Ag复合金属薄膜,然后采用飞秒脉冲激光定域去除金属层,获得Cu/Ag复合金属网格透明电极.分析了激光能量密度、激光扫...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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基于超快激光定域去除的Cu/Ag复合金属网格透明电极性能优化研究 Study on performance optimization of transparent Cu/Ag composite metal mesh electrode based on localized removal with ultrafast laser
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