文档名：安装误差对于电场式圆时栅传感器测量精度的影响规律及抑制方法
摘要：在纳米时栅传感器安装过程中,转子相对于定子的偏心或偏摆,是角位移传感器整周测量误差的主要来源.运用面积积分法进行数学建模,分析在安装不满足正对平行条件时的整周误差及其谐波频次,揭示采用多个电极进行信号拾取会具有一种匀化效应,能够减小由安装带来的谐波误差.采用印制电路板(PCB)工艺制造直径为305mm的传感器样机,在不同测头数量的条件下进行精度对比实验.实验结果表明:多测头结构能够对整周误差产生抑制与匀化作用,使传感器整周测量精度达到1.5″,接近平行正对安装时的测量精度,验证了多测头结构对安装误差的抑制作用.
Abstract：Theeccentricityoftherotorrelativetothestatorduringtheinstallationofthenanotime-gratingsensoristhemainsourceofthefullcircumferencemeasurementerroroftheangulardisplacementsensor.Inthispaper,mathematicalmodelingusingtheareaintegrationmethodisappliedtoanalyzethefull-perimetererroranditsharmonicfrequencybroughtbytheinstallationnotsatisfyingtheorthogonalparallelismcondition.Itrevealsthatusingmultipleelectrodesforsignalpickuphasahomogenizationeffectandreducestheharmonicerrorbroughtaboutbytheinstallation.Aprototypesensorwithadiameterof305mmisfabricatedbyusingaprintedcircuitboard(PCB)process,andaccuracycomparisonexperimentsareconductedunderdifferentprobenumbers.Ourexperimentsshowaftertheerroreliminationandhomogenizationcausedbymultipleprobestructures,thesensorachievesafullcircumferentialmeasurementaccuracyof1.5″,closetothemeasurementaccuracyofparallelsquaremounting,demonstratingthesuppressionofmountingerrorsbymultipleprobestructures.
作者：于沛玉 王合文 王祥虎 吴昶亮 展丙男 Author：YUPeiyu WANGHewen WANGXianghu WUChangliang ZHANBingnan
作者单位：重庆理工大学机械检测与装备技术教育部工程研究中心,重庆400054;时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室,重庆400054通用技术集团国测时栅科技有限公司,重庆400039北京理工大学机械与车辆学院,北京100081
刊名：重庆理工大学学报
Journal：JournalofChongqingInstituteofTechnology
年，卷(期)：2024, 38(3)
分类号：TH7
关键词：安装误差 多测头 纳米时栅 测量精度
Keywords：mountingerrors multipleprobes nanometertime-grating measurementaccuracy
机标分类号：TP273TH15TH873.7
在线出版日期：2024年3月25日
基金项目：重庆市教委成渝地区双城经济圈建设科技创新项目安装误差对于电场式圆时栅传感器测量精度的影响规律及抑制方法[
期刊论文] 重庆理工大学学报--2024, 38(3)于沛玉 王合文 王祥虎 吴昶亮 展丙男在纳米时栅传感器安装过程中,转子相对于定子的偏心或偏摆,是角位移传感器整周测量误差的主要来源.运用面积积分法进行数学建模,分析在安装不满足正对平行条件时的整周误差及其谐波频次,揭示采用多个电极进行信号拾取会...参考文献和引证文献
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引证文献
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