文档名：薄膜体声波谐振器FBAR滤波器研究
摘要：薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器具有小尺寸、高频、宽频带、高功率容量等特点,符合5G通信系统对射频滤波器的要求,因而成为射频滤波器的研究热点.对FBAR滤波器的结构原理、电路拓扑形式、关键材料和空腔结构方案四个方面进行了综合阐述与研究.首先介绍了FBAR的基本结构、描述了其工作原理,并指出用于衡量性能优劣的两个关键参数——有效压电耦合系数k2eff和品质因数Q.然后概括了FBAR滤波器的电路拓扑形式,并分析了Ladder形式、Lattice形式和Ladder-Lattice组合形式三种电路拓扑形式的特点.随后研究了FBAR滤波器的关键材料——压电材料与电极材料,并进行了性能特性的比较.其次总结了FBAR的空腔工艺制备方案,重点关注硅反面刻蚀型与空气隙型两大类,并给出了对比与讨论.最后对FBAR滤波器的进一步发展做出了展望.
作者：廖俊杰 冯耀刚 万蔡辛 蔡春华 秦明 张志强 Author：LIAOJunjie FENGYaogang WANCaixin CAIChunhua QINMing ZHANGZhiqiang
作者单位：东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏南京210096上海韦尔半导体股份有限公司,上海201203上海韦尔半导体股份有限公司,上海201203;华东师范大学上海市多维度信息处理重点实验室,上海200241
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(11)
分类号：TN713.5
关键词：MEMS FBAR滤波器 电路拓扑形式 关键材料 空腔结构方案
Keywords：MEMS FBARfilter circuittopology keymaterial cavitystructurescheme
机标分类号：
在线出版日期：2024年1月17日
基金项目：国家自然科学基金，至善青年学者支持计划项目薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器研究[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(11)廖俊杰 冯耀刚 万蔡辛 蔡春华 秦明 张志强薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器具有小尺寸、高频、宽频带、高功率容量等特点,符合5G通信系统对射频滤波器的要求,因而成为射频滤波器的研究热点.对FBAR滤波器的结构原理、电路拓扑形式、关键材料和空腔结构方案四个方面进行了...参考文献和引证文献
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