文档名：非本征型FP干涉光纤传感器的膜片性能研究
摘要：针对膜片材料参数对膜片形变式非本征型法布里—珀罗(FP)干涉光纤传感器性能的影响,研究了石英玻璃和单晶硅(100)膜片非本征FP干涉光纤传感器,用于中低压环境的测量.选定膜片材料有效半径425～500μm,厚度10～30μm,通过MATLAB对不同材料的膜片进行仿真分析,研究了石英玻璃和单晶硅(100)膜片的主要参数有效半径、厚度对灵敏度与动态压力信号频率响应的影响.仿真结果表明:石英玻璃和单晶硅(100)都有比较适中的灵敏度和响应频率,在膜片有效半径和厚度相同的情况下,石英玻璃的灵敏度要高于单晶硅(100)的,而单晶硅(100)的频率响应高于石英玻璃.通过激光焊接石英玻璃膜片的FP干涉传感器,有效半径为500μm,厚度为30μm时,压力灵敏度的实测结果为5.77nm/kPa,与仿真结果基本吻合.
作者：林一城 王文华Author：LINYicheng WANGWenhua
作者单位：广东海洋大学电子与信息工程学院,广东湛江524088
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(3)
分类号：TP212TN253
关键词：光纤传感器 法布里—珀罗干涉 膜片 灵敏度 频率响应
机标分类号：TQ171.731TG456.7TN304.12
在线出版日期：2023年3月27日
基金项目：广东省自然科学基金资助项目，广东省特色创新项目，广东海洋大学博士启动基金资助项目非本征型FP干涉光纤传感器的膜片性能研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(3)林一城 王文华针对膜片材料参数对膜片形变式非本征型法布里—珀罗(FP)干涉光纤传感器性能的影响,研究了石英玻璃和单晶硅(100)膜片非本征FP干涉光纤传感器,用于中低压环境的测量.选定膜片材料有效半径425～500μm,厚度10～30μm,通过MATL...参考文献和引证文献
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