文档名：分压型氧传感器加热器的热处理方法
摘要：针对目前分压型氧传感器响应时间长、功耗高、精度低的问题,提出了一种分压型氧传感器加热器热处理方法,将铁铬镍加热丝固溶处理1200℃并时效处理900℃保温12h,获得加热性能稳定的加热器,制备一种分压型氧传感器.传感器在10～300kPa氧气压力下,可在7s内实现快速响应,功耗小于8W,精度优于±0.5kPa.结果表明:采用本文研究的加热器热处理方法的分压型传感器信号输出值与氧气压力间存在良好的线性关系,具有在较宽氧气压力范围内实现高精度、低功耗、快响应的稳定性能.
作者：王超 程振乾 马丽娜 孙略升 刘洋 刘玺Author：WANGChao CHENGZhenqian MALina SUNLuesheng LIUYang LIUXi
作者单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(5)
分类号：TP212
关键词：氧传感器 分压型 加热器 热处理方法
机标分类号：
在线出版日期：2023年5月31日
基金项目：分压型氧传感器加热器的热处理方法[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(5)王超 程振乾 马丽娜 孙略升 刘洋 刘玺针对目前分压型氧传感器响应时间长、功耗高、精度低的问题,提出了一种分压型氧传感器加热器热处理方法,将铁铬镍加热丝固溶处理1200℃并时效处理900℃保温12h,获得加热性能稳定的加热器,制备一种分压型氧传感器.传感器在1...参考文献和引证文献
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引证文献
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