文档名：高分辨率光纤法珀传感器解调系统设计
摘要：光纤法珀传感器的腔长测量精度取决于解调系统的分辨率,现有的解调系统的分辨率多大于10nm,难以实现10nm以内腔长变化的测量.针对该问题,提出了以7450像元数的线阵图像传感器为基础搭建解调系统,通过硬件设计与软件算法提高特征信号质量,完成腔长数据提取,实现了一种高分辨率光纤法珀传感器解调系统.实验结果表明,该系统在0～20μm的腔长测量范围内,实现了2.7nm的光学分辨率,精度达到0.0135％FS.
Abstract：MeasurementprecisionofcavitylengthoffiberFabry-Perotsensorsdependsontheresolutionofthedemodulationsystem.Existingdemodulationsystemsoftenhavearesolutionofgreaterthan10nm,whichisdifficulttomeasurechangesincavitylengthbeyond10nm.Aimingatthisissue,ademodulationsystembasedon7450pixellineararrayimagesensorisproposed,whichimprovesthequalityoffeaturesignalsthroughhardwaredesignandsoftwarealgorithms,completescavitylengthdataextraction,andimplementesahigh-resolutionfiberFabry-Perotsensordemodulationsystem.Theexperimentalresultsshowthatthesystemachievesanopticalresolutionof2.7nmandanprecisionof0.0135％FSwithinthecavitylengthmeasurementrangeof0～20μm.
作者：景智鹏 万顺 贾平岗Author：JINGZhipeng WANShun JIAPinggang
作者单位：中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,山西太原030051
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(4)
分类号：TP212TN763
关键词：法珀传感器 测量精度 解调系统 腔长 高分辨率 线阵图像传感器
Keywords：Fabry-Perotsensor measurementprecision demodulationsystem cavitylength highresolution lineararrayimagesensor
机标分类号：TP311.52TP274.2TN967.1
在线出版日期：2024年4月26日
基金项目：国家自然科学基金，国家科技重大专项高分辨率光纤法珀传感器解调系统设计[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(4)景智鹏 万顺 贾平岗光纤法珀传感器的腔长测量精度取决于解调系统的分辨率,现有的解调系统的分辨率多大于10nm,难以实现10nm以内腔长变化的测量.针对该问题,提出了以7450像元数的线阵图像传感器为基础搭建解调系统,通过硬件设计与软件算...参考文献和引证文献
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