文档名：高精度光栅三维位移敏感结构设计
摘要：针对目前的微位移敏感装置在微型化下难以实现高精度三维检测的问题,设计了面内和离面2种位移敏感的光栅结构,并应用于三维微位移的检测中.阐述了光栅理论,设计了双层光栅结构.从2种检测方式对微位移灵敏度的影响角度,通过Gsolver仿真光强衍射效率的大小变化,面内和离面敏感光栅的衍射效率变化分别为0.115％/nm和0.423％/nm,可知,离面敏感光栅的衍射效率灵敏度是面内敏感光栅的4倍.进而将离面位移敏感的光栅布置在被测物的三维方向,实现高精度三维位移测量.
Abstract：Aimingattheproblemthatthecurrentmicro-displacementsensitivedeviceisdifficulttorealizehigh-precisionthree-dimensionaldetectionunderminiaturization,twokindsofdisplacement-sensitivegratingstructuresinandoutofthesurfacearedesignedandappliedtothedetectionofthree-dimensionalmicro-displacement.Thegratingtheoryisdescribedandadouble-layergratingstructureisdesignd.Fromtheperspectiveoftheinfluenceofthetwodetectionmethodsonthesensitivityofthemicro-displacement,thechangesoflightintensitydiffractioneffciencyissimulatedbyGsolver,thediffractionefficiencychangeofthein-planeandoff-planesensitivegratingis0.115％/nmand0.423％/nm,respectively,itcanbeseenthatthediffractionefficiencychangeoftheoff-planesensitivegratingisfourtimesthatofthein-planesensitivegrating.Furthermore,thesensitivegratingfortheoff-planedisplacementisarrangedinthree-dimensionaldirectionsoftheobjecttobemeasured,therebyhigh-precisionthree-dimensionaldisplacementmeasurementisrealized.
作者：王瑞荣 黄刚 李晓红 吕奕菲 Author：WANGRuirong HUANGGang LIXiaohong LüYifei
作者单位：太原工业学院电子工程系,山西太原030008西安应用光学研究所,陕西西安710065
刊名：传感器与微系统
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2024, 43(1)
分类号：TP212.1
关键词：位移敏感 光栅 高精度
Keywords：displacementsensitive grating highprecision
机标分类号：
在线出版日期：2024年1月17日
基金项目：山西省高等学校科技创新项目高精度光栅三维位移敏感结构设计[
期刊论文] 传感器与微系统--2024, 43(1)王瑞荣 黄刚 李晓红 吕奕菲针对目前的微位移敏感装置在微型化下难以实现高精度三维检测的问题,设计了面内和离面2种位移敏感的光栅结构,并应用于三维微位移的检测中.阐述了光栅理论,设计了双层光栅结构.从2种检测方式对微位移灵敏度的影响角度,通...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
本文读者也读过
相似文献
相关博文
高精度光栅三维位移敏感结构设计 Design of high-precision grating three-dimensional displacement sensitive structure
高精度光栅三维位移敏感结构设计.pdf
- 文件大小:
- 9.98 MB
- 下载次数:
- 60
-
高速下载
|
|
