文档名：高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计
摘要：针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振.实现了超高灵敏度加速度检测.使用COMSOLMultiphysics软件建立加速度计结构原型,仿真得到谐振梁的谐振频率分别为1926.480kHz和1926.499kHz;在±5gn的量程范围内,单根梁的检测灵敏度为40.218kHz/gn,差分检测灵敏度达到80.437kHz/gn;分析了加速度计的温度特性,差分输出模式有效抑制加速度计的零点漂移,灵敏度随温度变化为2.424Hz/(gn·K-1).
作者：许文元 唐彬 赵宝林 谢晋Author：XUWenyuan TANGBin ZHAOBaolin XIEJin
作者单位：中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621999
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(8)
分类号：TP212TH703
关键词：ZnO纳米线 纳米谐振梁 混频检测 加速度计 高灵敏度
Keywords：ZnOnanowire nanoresonantbeam frequencymixingdetection accelerometer highsensitivity
机标分类号：TP212.1TB383TN304.055
在线出版日期：2023年8月25日
基金项目：国家自然科学基金高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(8)许文元 唐彬 赵宝林 谢晋针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振.实现了超高灵敏度加速度检测.使...参考文献和引证文献
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引证文献
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