文档名：高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究
摘要：针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路.根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳米硅薄膜压敏电阻的阻值大小和尺寸.采用ANSYS有限元分析(FEA)对所设计的传感器结构进行仿真,根据仿真结果确定了压敏电阻在膜片上的最佳放置位置.基于标准MEMS制造技术,在SOI基纳米硅薄膜上设计并实现了该压力传感器.实测结果表明,室温下,在0～40kPa微压测量范围内所设计的传感器检测灵敏度可达0.45mV/(kPa·V),非线性度达到0.108%F.S.在-40℃～125℃的工作温度范围内,温度稳定性好,零点温度漂移系数与灵敏度温度漂移系数分别为0.0047%F.S与0.089%F.S.所设计的压力传感器及其检测电路,在现代医疗、工业控制等领域具有较大的应用潜力.
作者：高颖 姜岩峰Author：GAOYing JIANGYanfeng
作者单位：江南大学物联网工程学院电子工程系,江苏无锡214122
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(6)
分类号：S951.4+3
关键词：SOI基 纳米硅薄膜 微压阻式压力传感器 检测电路 有限元分析(FEA)
Keywords：SOI-based nano-siliconfilm micro-piezoresistivepressuresensor detectioncircuit finiteelementanalysis(FEA)
机标分类号：
在线出版日期：2023年8月21日
基金项目：国家自然科学基金高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器的研究[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(6)高颖 姜岩峰针对高端领域对高性能微小量程压力传感器的迫切需求,设计并实现了一种应用于电子血压计的高性能SOI基纳米硅薄膜微压阻式压力传感器,并提出了相应的检测电路.根据小挠度弯曲理论设计了传感器方形敏感薄膜结构,确定了纳...参考文献和引证文献
参考文献
引证文献
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