文档名：电容式超声换能器在医疗领域的研究进展
摘要：随着超声技术和大规模集成电路的高速发展,各生产领域对电容式微机械超声换能器(CMUT)的研制成本、器件灵敏度、带宽比、成像帧率等性价比需求显著提高.从CMUT的主要应用方向超声医疗领域的研究为切入点,对CMUT在超声成像和超声治疗中的应用机理进行简述,并列举CMUT在超声医疗领域中的代表性研究成果.同时,综述了目前科技研究中CMUT的主要研制工艺与阵列结构,并对CMUT的结构及制造工艺进行了总结和比较,为CMUT在超声医疗领域中的科技创新做出展望.
作者：胡娟娟 李晓云 高铁成 杜俊浩Author：HUJuanjuan LIXiaoyun GAOTiecheng DUJunhao
作者单位：天津工业大学电子与信息工程学院,天津300387
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(7)
分类号：TP212TB552
关键词：电容式微机械超声换能器阵列 工艺制造 超声成像 超声治疗
Keywords：capacitormicromechanicalultrasonictransducer(CMUT)array processmanufacturing ultrasonicimaging ultrasonictherapy
机标分类号：TB552TN47TN707
在线出版日期：2023年7月28日
基金项目：国家自然科学基金电容式超声换能器在医疗领域的研究进展[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(7)胡娟娟 李晓云 高铁成 杜俊浩随着超声技术和大规模集成电路的高速发展,各生产领域对电容式微机械超声换能器(CMUT)的研制成本、器件灵敏度、带宽比、成像帧率等性价比需求显著提高.从CMUT的主要应用方向超声医疗领域的研究为切入点,对CMUT在超声成像和...参考文献和引证文献
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