文档名：基于FabryPerot干涉仪的微型光纤风速仪
摘要：提出了一种由硅片和单模光纤(SMF)端面组成的法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪型风速计.风速计利用硅优越的热学和光学特性,当红外信号通过硅Fabry-Perot干涉仪时,可以通过红色二极管激光器注入的光束对硅Fabry-Perot干涉仪进行加热,而不会受到加热光的任何干扰.当传感器置于较强气流(风)中时,硅片热损失的增加,将会引起Fabry-Perot干涉仪光程的减小,从而导致输出光谱蓝移,风速越高,波长偏移越大.通过调节加热功率,可以改变风速计的响应范围和灵敏度.实验结果表明:在风速为4m/s时,观察到波长偏移为-0.574nm.当施加更大的加热功率时,预期会有更好的灵敏度.该传感器具有结构简单、成本低、响应快等特点.
作者：郑涵 吴睿 林志贤 林正冲 程宇恒 Author：ZHENGHan WURui LINZhixian LINZhengchong CHENGYuheng
作者单位：深圳市供电局主网系统控制部,广东深圳518000国家电网南瑞南京控制系统有限公司,江苏南京211106
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(11)
分类号：TP212TN253
关键词：光纤风速计 法布里-珀罗干涉仪 硅薄膜 热效应
Keywords：opticalfiberanemometer Fabry-Perotinterferometer siliconfilm thermaleffect
机标分类号：TN248.4TH765.4TP212
在线出版日期：2023年12月4日
基金项目：中国南方电网有限公司科技攻关项目基于Fabry-Perot干涉仪的微型光纤风速仪[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(11)郑涵 吴睿 林志贤 林正冲 程宇恒提出了一种由硅片和单模光纤(SMF)端面组成的法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪型风速计.风速计利用硅优越的热学和光学特性,当红外信号通过硅Fabry-Perot干涉仪时,可以通过红色二极管激光器注入的光束对硅Fabry-Perot干涉...参考文献和引证文献
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