文档名:基于SSPPs传感器的金属凹槽填充工件检测
摘要:提出了一种基于液体开关控制的人工表面等离激元传感器,用于检测金属凹槽填充密度.该传感器由液体开关控制器和功分结构组成.液体开关由塑料管和带水的注射器组成,固定在SSPPs传感器的分支结构上.塑料管内充满水时,支路不能传输信号,这称为"OFF"状态.相反,塑料管内无水时称为"ON"状态.通过切换传感器支路的"ON"或"OFF"状态,可以控制SSPPs传感器的传感区域.该检测方法是基于凹槽填充质量变化引起的SSPPs传感器反射系数的变化,通过切换支路状态,可以检测各支路下方是否存在填充质量问题.实验结果表明,SSPPs传感器可以有效检测10mg填充变化,可用于实现批量生产工件的快速筛选.
Abstract:Aspoofsurfaceplasmonpolaritons(SSPPs)sensorbasedonliquidswitchcontrolisproposedtodetectmetalgroovefillingdensity.Thesensorconsistsofliquidswitchcontrollersandpowerdivisionstructure.Theliquidswitchconsistsofaplasticpipeandsyringewithwater,whichisfixedonthebranchstructureofSSPPssensor.Byfillingtheplasticpipewithwater,thebranchcannottransmitsignal,whichiscalled"OFF"state.Incontrast,whenthereisnowaterintheplastictube,itiscalled"ON"state.Byswitchingthe"ON"or"OFF"stateofsensor'sbranches,itcancontrolthesensingareaofSSPPssensor.ThedetectionmethodisbasedonthechangeofreflectioncoefficientofSSPPssensorcausedbythechangeofgroovefillingquality.Byswitchingthestatesofbranchesinturn,itcandetectwhetherwhethertherearefillingqualityproblemsateachbranch.TheexperimentalresultsshowthattheSSPPssensorcaneffectivelydetectthefillingchangesof10mg,whichcanbeusedforrapiddetectionofworkpiecewithmassproduction.
作者:宿丕强 赖小皇 张耕 董静 钟明Author:SuPiqiang LaiXiaohuang ZhangGeng DongJing ZhongMing
作者单位:中国航发四川燃气涡轮研究院绵阳621010
刊名:电子测量技术 ISTICPKU
Journal:ElectronicMeasurementTechnology
年,卷(期):2024, 47(8)
分类号:TN98
关键词:人工表面等离激元 功分结构 液体开关控制 金属材料 凹槽填充 微波无损检测
Keywords:spoofsurfaceplasmonpolaritons powerdivisionstructure liquidswitchcontrol metallicmaterial groovefilling microwavenon-destructivetesting
机标分类号:TP391.41TN702TN811
在线出版日期:2024年7月16日
基金项目:国家重点研发计划基于SSPPs传感器的金属凹槽填充工件检测[
期刊论文] 电子测量技术--2024, 47(8)宿丕强 赖小皇 张耕 董静 钟明提出了一种基于液体开关控制的人工表面等离激元传感器,用于检测金属凹槽填充密度.该传感器由液体开关控制器和功分结构组成.液体开关由塑料管和带水的注射器组成,固定在SSPPs传感器的分支结构上.塑料管内充满水时,支路...参考文献和引证文献
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