文档名：基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究
摘要：随着氢能的广泛应用,检测氢气(H2)泄漏十分必要.采用溶剂热法合成钯(Pd)纳米颗粒,结合旋涂法从极大程度上简化了覆盖敏感层工艺,在利用微机电系统(MEMS)工艺制备的硅基金(Au)叉指电极上研究了基于"氢致Pd晶格膨胀效应(HILE)"的裂结式H2传感器的敏感特性,为低成本批量化制备室温型氢气传感器提供了可行性研究.结果表明该传感器对H2的响应值与Pd纳米颗粒在基底上的覆盖率密切相关:覆盖率在一定范围内越大,响应值越小.在室温下,该类传感器对500×10-6～2500×10-6H2表现出了较快的响应速度:响应时间在5s左右,恢复时间在25s左右,具有较高的响应值:在2500×10-6H2气氛下高达83%,有较好的选择性和稳定性.
Abstract：Withtheextensivedevelopmentofhydrogen(H2)source,itisnecessarytodetectleakageofH2.Palladium(Pd)nanoparticlesaresynthesizedbyusingsolvothermalmethodandabreak-junctiontypehydrogensensorisfabricatedbydispersingPdnanoparticlesonthesilicon-basedinterdigitalgold(Au)electrodebyusingspin-coatingmethodwhichislow-costandsimple.Thesilicon-basedinterdigi-talgold(Au)electrodeispreparedbyusingMicroelectromechanicalSystem(MEMS)technology.ThesensingperformanceofhydrogensensorbasedonhydrogeninducedPdlatticeexpansioneffect(HILE)isstudiedandtheresultsshowthattheH2responseofsensorsin-creaseswiththeincreasementofPdcoverageonthesubstrate.Atroomtemperature,thistypeofsensorshowsafasterresponsespeedto500×10-6-2500×10-6H2,theresponsetimeisabout5s,andtherecoverytimeisabout25s.Theresponseto2500×10-6H2isashighas83%,possessinggoodselectivityandstabilityaswell.
作者：涂建鑫 邹杰 孙靖远 张文冰 毕春跃 谢光忠 简家文 Author：TUJianxin ZOUJie SUNJingyuan ZHANGWenbing BIChunyue XIEGuangzhong JIANJiawen
作者单位：宁波大学信息科学与工程学院,浙江宁波315211宁波大学信息科学与工程学院,浙江宁波315211;电子科技大学光电科学与工程学院,四川成都610054宁波大学信息科学与工程学院,浙江宁波315211;浙江万里学院大数据与软件工程学院,浙江宁波315100电子科技大学光电科学与工程学院,四川成都610054
刊名：传感技术学报
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2024, 37(1)
分类号：TP212.6
关键词：叉指电极 氢气 传感器 Pd纳米颗粒 氢致晶格膨胀
Keywords：interdigitalelectrode hydrogen,sensors Pdnanoparticles hydrogeninducedlatticeexpansion
机标分类号：
在线出版日期：2024年3月6日
基金项目：国家自然科学基金，中国博士后科学基金，浙江省自然科学基金项目，浙江省自然科学基金项目，宁波市自然科学基金，宁波市自然科学基金基于钯纳米颗粒导电沟道的室温型氢气传感器的研究[
期刊论文] 传感技术学报--2024, 37(1)涂建鑫 邹杰 孙靖远 张文冰 毕春跃 谢光忠 简家文随着氢能的广泛应用,检测氢气(H2)泄漏十分必要.采用溶剂热法合成钯(Pd)纳米颗粒,结合旋涂法从极大程度上简化了覆盖敏感层工艺,在利用微机电系统(MEMS)工艺制备的硅基金(Au)叉指电极上研究了基于"氢致Pd晶格膨胀效应(H...参考文献和引证文献
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