文档名：基于AR结构与FPI级联的游标效应增敏温度传感器
摘要：提出并实验验证了一种基于游标效应的超灵敏温度传感器,传感器由带有二氧化硅(SiO2)毛细管和空气腔的级联结构组成.毛细管可引起反谐振(AR)效应,空气腔具有法布里-珀罗干涉仪(FPI)的作用.利用FPI进行传感,毛细管作为混合级联传感器的参考干涉仪.实验结果表明:所提出的级联传感器的温度灵敏度显著提高,从0.477nm/℃提高到2.43nm/℃,与单一FPI相比,放大系数高达5.06.该传感器具有结构简单、性能稳定等优点.此外,基于AR效应的游标效应研究鲜有报道.
作者：孙远 周大海 刘理 Author：SUNYuan ZHOUDahai LIULi
作者单位：华中科技大学光学与电子信息学院,湖北武汉430074;江苏永鼎股份有限公司,江苏苏州215211江苏永鼎股份有限公司,江苏苏州215211华中科技大学光学与电子信息学院,湖北武汉430074
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(4)
分类号：TP212TN2
关键词：法布里-珀罗干涉仪 反谐振效应 游标效应 温度传感器
机标分类号：TH744.3TM464TP212.14
在线出版日期：2023年5月9日
基金项目：基于AR结构与FPI级联的游标效应增敏温度传感器[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(4)孙远 周大海 刘理提出并实验验证了一种基于游标效应的超灵敏温度传感器,传感器由带有二氧化硅(SiO2)毛细管和空气腔的级联结构组成.毛细管可引起反谐振(AR)效应,空气腔具有法布里-珀罗干涉仪(FPI)的作用.利用FPI进行传感,毛细管作为混合...参考文献和引证文献
参考文献
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