文档名：基于电容检测的高精度大量程MEMS加速度计设计
摘要：为满足系统在导航和倾角测量等领域对高精度、大量程加速度计的应用需求,设计了一种高精度、大量程微机电系统(MEMS)加速度计.加速度计敏感结构采用梳齿式结构,电容/电压(C/V)转换电路采用开关电容架构,通过斩波技术和相关双采样技术有效降低调理电路的1/f噪声.为提高系统线性度,模/数转换器(ADC)采用2阶1bitSigma-Delta架构,同时采用斩波技术降低ADC的失调及1/f噪声.本文设计采用0.18μmBCD工艺,调理电路面积为28mm2.测试结果表明:MEMS加速度计在±50gn的量程下,零偏稳定性达到73.7μg,非线性度为69.3×10-6,总功耗110mW.
作者：唐兴刚 龙善丽 童紫平 吴传奇 贺克军Author：TANGXinggang LONGShanli TONGZiping WUChuanqi HEKejun
作者单位：华东光电集成器件研究所,江苏苏州215163
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(3)
分类号：TP212TN433
关键词：微机电系统加速度计 电容/电压转换电路 高精度 大量程
机标分类号：TP212TN432TN761
在线出版日期：2023年3月27日
基金项目：基于电容检测的高精度大量程MEMS加速度计设计[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(3)唐兴刚 龙善丽 童紫平 吴传奇 贺克军为满足系统在导航和倾角测量等领域对高精度、大量程加速度计的应用需求,设计了一种高精度、大量程微机电系统(MEMS)加速度计.加速度计敏感结构采用梳齿式结构,电容/电压(C/V)转换电路采用开关电容架构,通过斩波技术和相关...参考文献和引证文献
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