文档名:基于微纳工艺的细胞活性传感器的研究与分析
摘要:针对细胞实验中难以对细胞活性进行有效、实时、快速检测的难点,利用微机电系统(MEMS)微纳工艺,设计并制造了一种电极宽度、间距均为微米级的叉指电极芯片,并将其封装成可用于检测细胞活性的传感器.基于细胞阻抗原理,进行了细胞活性检测实验,来验证传感器的功能.实验结果表明:细胞活性与传感器检测到的细胞阻抗值呈正比,细胞活性越高,阻抗值越大.与传统检测细胞活性的方法相比,该传感器具有实时检测细胞生长和快速死亡过程的功能,且具有操作简单、无标签、非入侵等优点.
作者:蔡旭东 李欢 丁田耘 马苗燕 廖玲妮 关一民 Author:CAIXudong LIHuan DINGTianyun MAMiaoyan LIAOLingni GUANYimin
作者单位:上海大学微电子学院,上海201800;上海微技术工业研究院,上海201800上海微技术工业研究院,上海201800上海傲睿科技有限公司,上海201800上海大学微电子学院,上海201800;上海微技术工业研究院,上海201800;上海傲睿科技有限公司,上海201800
刊名:传感器与微系统 ISTICPKU
Journal:TransducerandMicrosystemTechnologies
年,卷(期):2023, 42(6)
分类号:TP212.3
关键词:细胞活性传感器 叉指电极 微纳工艺 微机电系统
机标分类号:TP212R735.7TM403.5
在线出版日期:2023年6月16日
基金项目:基于微纳工艺的细胞活性传感器的研究与分析[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(6)蔡旭东 李欢 丁田耘 马苗燕 廖玲妮 关一民针对细胞实验中难以对细胞活性进行有效、实时、快速检测的难点,利用微机电系统(MEMS)微纳工艺,设计并制造了一种电极宽度、间距均为微米级的叉指电极芯片,并将其封装成可用于检测细胞活性的传感器.基于细胞阻抗原理,进行了...参考文献和引证文献
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