文档名：基于压电式微机械超声换能器阵列的无线能量传输设计
摘要：利用氮化铝薄膜压电微机械换能器(PMUT)的生物兼容和CMOS电路兼容特性,提出了一种基于上述换能器阵列的声学无线能量传输方法.为了得到最佳的输出性能,对PMUT的结构进行了优化设计,采用派瑞林封装保护PMUT的空腔和表面结构,分析了PMUT在不同介质中的电学和频率性能,采用高密度并联阵列降低器件阻抗、提高了总输出电流,对PMUT及其应用电路进行了设计与仿真.PMUT在压电薄膜层与钼底电极厚度比在2:3至1:2,顶电极与空腔半径比为0.7时获得最大输出性能,当空腔半径控制在35μm至43μm时,PMUT在水中的谐振频率约为2MHz.本研究为设计高灵敏度、小型化、无毒无铅的无线能量传输系统提供了一种高集成度、高生物兼容的解决方案.
作者：荣智聪 宁远 张孟伦Author：RONGZhicong NINGYuan ZHANGMenglun
作者单位：天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(10)
分类号：TH89
关键词：微机械系统 压电式微机械换能器 无线能量传输 氮化铝
Keywords：MEMS PMUT wirelesspowertransfer aluminumnitride
机标分类号：TN912.1TN712+.5TB552
在线出版日期：2023年12月12日
基金项目：国家自然科学基金基于压电式微机械超声换能器阵列的无线能量传输设计[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(10)荣智聪 宁远 张孟伦利用氮化铝薄膜压电微机械换能器(PMUT)的生物兼容和CMOS电路兼容特性,提出了一种基于上述换能器阵列的声学无线能量传输方法.为了得到最佳的输出性能,对PMUT的结构进行了优化设计,采用派瑞林封装保护PMUT的空腔和表面结...参考文献和引证文献
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