文档名：基于银纳米线的柔性压阻式触觉传感器研究
摘要：触觉传感器是智能机器人感知外界环境并与人进行交互的关键环节.多种物理测量和高延展性使触觉传感器得到了更广泛的应用.提出了一种制造工艺简单、成本低的柔性触觉传感器,根据电阻的变化,可检测温度和接触压力.该传感器是由PDMS薄膜、纸基银纳米线和PDMS薄膜组成的三明治结构.敏感元件为3×3的纸基银纳米线阵列,阵列末端用导电银浆引线.整个传感器的尺寸为3cm×3cm.通过压力测试和温度测试实验,测量了传感器阵列交点处的电阻随着压力和温度变化趋势.结果表明,该传感器的压力检测灵敏度为2.8Ω/N,温度检测灵敏度为0.18Ω/℃.该传感器的结构和制备工艺简单可行,在机器人电子皮肤领域具有广阔的应用前景.
Abstract：Tactilesensoristhekeylinkforintelligentrobottoperceivetheexternalenvironmentandinteractwithpeople.Multiplephysi-calmeasurementsandhighductilitymaketactilesensorsmorewidelyused.Aflexibletactilesensorwithsimplemanufacturingprocessandlowcostsispresented.Basedonthechangeofresistance,itcandetecttemperatureandcontactpressure.Asandwichstructureofthesen-sorcomposedofPDMSfilm,paper-basedsilvernanowiresandPDMSfilmisdesigned.A3×3arrayofpaper-basedsilvernanowiresispro-cessed,andcopperwiresareledoutattheendofthearraywithconductivesilverpaste.Thesizeofthewholesensoris3cm×3cm.Dur-ingtheexperiments,theresistancesatthearrayintersectionaremeasuredwhenapplyingpressureandchangingsurfacetemperature.Re-sultsshowthatthepressuredetectionsensitivityofthesensoris2.8Ω/Nandthetemperaturedetectionsensitivityis0.18Ω/℃.Thestructureandpreparationprocessofsensorherearesimpleandfeasible,holdingbroadpromiseinelectronicskinofrobots.
作者：谭苗苗 刘伟Author：TANMiaomiao LIUWei
作者单位：北京联合大学机器人学院机械工程系,北京100027;北京联合大学北京市智能机械创新设计服务工程技术研究中心,北京100027
刊名：传感技术学报
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2024, 37(1)
分类号：TH212
关键词：微机电系统 柔性传感器 压阻效应 银纳米线
Keywords：MEMS flexiblesensor piezoresistive silvernanowire
机标分类号：
在线出版日期：2024年3月6日
基金项目：基于银纳米线的柔性压阻式触觉传感器研究[
期刊论文] 传感技术学报--2024, 37(1)谭苗苗 刘伟触觉传感器是智能机器人感知外界环境并与人进行交互的关键环节.多种物理测量和高延展性使触觉传感器得到了更广泛的应用.提出了一种制造工艺简单、成本低的柔性触觉传感器,根据电阻的变化,可检测温度和接触压力.该传感器...参考文献和引证文献
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