文档名：基于引压方式的驻极体高温动态压力传感器
摘要：通过对引压管和热沉尺寸的合理设计,使传感器在高温环境下工作时,能够将传感器敏感端温度降低到室温,同时满足传感器的工作频率要求.搭建了高温动态压力测试平台对传感器进行了性能测试.测试结果表明:传感器在室温至800℃环境下压力输出曲线具有良好的一致性,对测试曲线进行线性拟合,得到R2=0.999,传感器的3dB带宽达到8kHz.该传感器能够在不损失工作频率的同时,实现高温环境下动态压力测试,满足航空航天等领域对高温动态压力传感器的需求.
作者：宫占江 邵志强 苏琳惠 陈亚洲 孙立凯 宋尔冬 Author：GONGZhanjiang SHAOZhiqiang SULinhui CHENYazhou SUNLikai SONGErdong
作者单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028;哈尔滨工程大学信息与通信工程学院,黑龙江哈尔滨150006
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(7)
分类号：TP212
关键词：高温 动态压力 引压管 热沉 工作频率
Keywords：hightemperature dynamicpressure impulsetubing heatsink workingfrequency
机标分类号：TM278TU311TP311.52
在线出版日期：2023年7月28日
基金项目：基于引压方式的驻极体高温动态压力传感器[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(7)宫占江 邵志强 苏琳惠 陈亚洲 孙立凯 宋尔冬通过对引压管和热沉尺寸的合理设计,使传感器在高温环境下工作时,能够将传感器敏感端温度降低到室温,同时满足传感器的工作频率要求.搭建了高温动态压力测试平台对传感器进行了性能测试.测试结果表明:传感器在室温至800...参考文献和引证文献
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