文档名:基于剪切波变换的光学元件表面缺陷检测方法
摘要:针对精密光学元件表面划痕缺陷形态大小随机分布,难于检测的问题,提出了一种基于非下采样剪切波变换(NSST)和L0梯度最小化(LGM)的精密光学元件表面缺陷检测的方法.首先,采用NSST将被测元件表面数据分解为不同尺度、不同方向的子块;然后,在子块上基于自适应阈值使用LGM分离被测表面的纹理;最后,重构变换域子块,实现元件表面缺陷的检测.实验结果表明:对包含256×256数据点的表面,特征分离仅需要0.7862s,满足元件的自动化处理的时间要求.与小波等方法相比,该方法能更准确地分离器件表面的纹理与缺陷,在光学元件表面缺陷检测方面效果更优.
作者:张传博 李林福 陈建军 徐艳丽 Author:ZHANGChuanbo LILinfu CHENJianjun XUYanli
作者单位:贵州民族大学物理与机电工程学院,贵州,贵阳550025新疆医科大学医学工程技术学院,新疆乌鲁木齐830011
刊名:传感器与微系统 ISTICPKU
Journal:TransducerandMicrosystemTechnologies
年,卷(期):2023, 42(6)
分类号:TP391.41TG84
关键词:缺陷检测 特征提取 非下采样剪切波变换 L0梯度最小化
机标分类号:TP391.41TG58TN911.73
在线出版日期:2023年6月16日
基金项目:贵州省省级科技计划资助项目,贵州省大学生创新创业培训计划资助项目基于剪切波变换的光学元件表面缺陷检测方法[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(6)张传博 李林福 陈建军 徐艳丽针对精密光学元件表面划痕缺陷形态大小随机分布,难于检测的问题,提出了一种基于非下采样剪切波变换(NSST)和L0梯度最小化(LGM)的精密光学元件表面缺陷检测的方法.首先,采用NSST将被测元件表面数据分解为不同尺度、不同方...参考文献和引证文献
参考文献
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