文档名：面向乳腺癌诊断的压电式微机械超声换能器的设计
摘要：面向乳腺癌早期微小病变组织难于精确诊断的问题,设计了一种基于AlN/Si薄膜的圆形双晶片压电式微机械超声换能器(PMUT).作为乳腺超声CT系统关键检测部件,其性能优劣与诊断准确度密切相关.通过对换能器工作原理进行分析,建立了数学理论模型.利用有限元仿真软件COMSOL建立了基于AlN薄膜的PMUT有限元模型,给出了具体的结构设计参数,并分析了静态压力、静态位移、振动模态、谐振频率、灵敏度、声阻抗等性能参数.仿真结果显示,所设计的PMUT一阶谐振频率为7.61MHz,灵敏度为-258dB,品质因数为380.5,有效机电耦合系数为10.2％,能够满足对乳腺软组织检测的设计需求.
作者：刘畅 程义军 薛晨阳 张斌珍 Author：LIUChang CHENGYijun XUEChenyang ZHANGBinzhen
作者单位：太原工业学院电子工程系,山西太原030008中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原030051
刊名：传感技术学报 ISTICPKU
Journal：ChineseJournalofSensorsandActuators
年，卷(期)：2023, 36(9)
分类号：TB552
关键词：PMUT AlN薄膜 COMSOL 乳腺癌
Keywords：PMUT AlNthinfilm COMSOL breastcancer
机标分类号：R737.9TP391.41O426.9
在线出版日期：2023年11月22日
基金项目：国家重大科研仪器研制项目，山西省基础研究计划项目，山西省基础研究计划项目面向乳腺癌诊断的压电式微机械超声换能器的设计[
期刊论文] 传感技术学报--2023, 36(9)刘畅 程义军 薛晨阳 张斌珍面向乳腺癌早期微小病变组织难于精确诊断的问题,设计了一种基于AlN/Si薄膜的圆形双晶片压电式微机械超声换能器(PMUT).作为乳腺超声CT系统关键检测部件,其性能优劣与诊断准确度密切相关.通过对换能器工作原理进行分析,...参考文献和引证文献
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