文档名：抗高过载MEMS器件双层异质防护结构的仿真研究
摘要：针对MEMS器件的缓冲防护,建立了以响应加速度峰值比来评估结构缓冲性能的不同厚度比双层异质防护结构动力学响应模型.通过数值仿真,外层环氧树脂与内层聚氨酯厚度比为2:1的双层防护结构缓冲性能最佳.其响应加速度峰值比可达到0.47,误差小于4.60％.通过对MEMS器件的防护结构进行优化设计,为双层粘弹性材料用于MEMS器件抗高过载防护结构的研究和应用提供了理论基础和技术支持.
作者：冯登虎 石云波 赵锐 陈玉楠 张鹏 闫晓朋 Author：FENGDenghu SHIYunbo ZHAORui CHENYunan ZHANGPeng YANXiaopeng
作者单位：中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原030051山西北方机械制造有限责任公司,山西太原030000
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(11)
分类号：TP212O342TH113
关键词：MEMS器件 双层异质 缓冲吸能 粘弹性材料 二阶系统
Keywords：MEMSdevices bilayerheterogeneous bufferingandenergyabsorption viscoelasticmaterials second-ordersystem
机标分类号：P315.9TU311.3TB485.3
在线出版日期：2023年12月4日
基金项目：山西省基础研究计划面上资助项目抗高过载MEMS器件双层异质防护结构的仿真研究[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(11)冯登虎 石云波 赵锐 陈玉楠 张鹏 闫晓朋针对MEMS器件的缓冲防护,建立了以响应加速度峰值比来评估结构缓冲性能的不同厚度比双层异质防护结构动力学响应模型.通过数值仿真,外层环氧树脂与内层聚氨酯厚度比为2:1的双层防护结构缓冲性能最佳.其响应加速度峰值比...参考文献和引证文献
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