文档名：纳米光栅三轴MOEMS陀螺设计与仿真分析
摘要：设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统(MOEMS)陀螺,详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理,建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度.仿真结果表明:x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79nm/((°)·s-1).对双层光栅的衍射灵敏度仿真分析,得到双层光栅面内与离面模式下的衍射灵敏度分别为297.1,159.7V/mm.最后,结合结构灵敏度与衍射灵敏度得到x,y,z轴陀螺的灵敏度大小分别为6.83,6.97,22.81mV/((°)·s-1).
作者：罗戴钟 金丽 李孟委Author：LUODaizhong JINLi LIMengwei
作者单位：中北大学仪器与电子学院,山西太原030051;中北大学前沿交叉科学研究院,山西太原030051
刊名：传感器与微系统 ISTICPKU
Journal：TransducerandMicrosystemTechnologies
年，卷(期)：2023, 42(4)
分类号：TP212
关键词：纳米光栅 微陀螺 三轴 单片集成
机标分类号：TH137O4TN929.5
在线出版日期：2023年5月9日
基金项目：国家自然科学基金，山西省高等学校科技创新项目纳米光栅三轴MOEMS陀螺设计与仿真分析[
期刊论文] 传感器与微系统--2023, 42(4)罗戴钟 金丽 李孟委设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统(MOEMS)陀螺,详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理,建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度.仿真结果表明:x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79nm/((°)·...参考文献和引证文献
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